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ayx爱游戏官网登录:广东精瓷新资料请求一体化限制成型碳化硅静电卡盘专利处理了烧结时电极层与陶瓷基体易分层的现象

来源:ayx爱游戏官网登录    发布时间:2026-01-20 00:47:21

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  国家知识产权局信息数据显现,广东精瓷新资料有限公司请求一项名为“一种一体化限制成型的碳化硅静电卡盘及其制备办法”的专利,揭露号CN121335478A,请求日期为2025年10月。

  专利摘要显现,本发明揭露一种一体化限制成型的碳化硅静电卡盘及其制备办法,碳化硅静电卡盘包含有基座、邦定资料层以及陶瓷片;该邦定资料层贴合固定在基座的外表;该陶瓷片贴合固定在邦定资料层的外表,该陶瓷片选用一体化限制成型办法取得,其间设有具有发热以及吸附功用的榜首电极层和第二电极层。经过铺粉‑限制‑铺粉‑再限制的限制办法,完成了静电卡盘电极层与上下陶瓷基体的杰出结合,处理了烧结时电极层与陶瓷基体易分层的现象;本方案中,因陶瓷粉体具有十分杰出的流动性,粉体可充沛填充电极层与上下陶瓷基体间的孔隙,使得嵌入的电极层不再拘泥于原有技能中模具或陶瓷基体凹槽的形状,可以规划更为杂乱的线路,也减少了模具本钱。

  天眼查资料显现,广东精瓷新资料有限公司,成立于2021年,坐落河源市,是一家以从事计算机、通讯和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本4513.3014万人民币。经过天眼查大数据分析,广东精瓷新资料有限公司共对外出资了2家企业,参加招投标项目7次,产业线条,此外企业还具有行政许可9个。

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